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小型貴金屬濺射鍍膜機(jī)SC-701MkII介紹
DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。
一種小型濺射裝置，可讓您輕松輕松地制作電極薄膜。
標(biāo)準(zhǔn)配備間歇濺射功能
使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。
將電極膜粘貼到各種設(shè)備上
用于反射薄膜生產(chǎn)等。
| 陰極 | φ2英寸/扁平電極 |
| 濺射靶材 | 單獨(dú)出售 Au/Pt/Pd/Ag/Au-Pd/Pt-Pd |
| 氣體導(dǎo)入機(jī)構(gòu) | 針閥 |
| 間歇功能 | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備 |
| 真空泵 | 直連旋轉(zhuǎn)泵：20l/min（帶自動泄漏） |
| 腔室尺寸 | 內(nèi)徑 φ90mm x D90mm（SUS材質(zhì)） |
| 樣品交換方式 | 前門開閉方式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機(jī)身：160/326/286mm RP：300/160/200mm |
| 重量 | 本體：10kg RP：9kg |
